Компания Edwards, более 100 лет изготавливающая вакуумные приборы, беспрерывно развивается и ищет новые решения по улучшению аппаратов для промышленности и научных лабораторий. Исследовательским центром компании постоянно внедряются инновационные разработки в сферу вакуумного оборудования и интеллектуальных контроллеров, автоматизирующих деятельность системы.
Содержание:
- Достоинства и недостатки насосов Edwards
- Насосы турбомолекулярные и диффузионные Edwards – сравнение
Достоинства и недостатки насосов Edwards
Учитывая многолетний опыт компании, можно утверждать, что вакуумный насос Edwards на несколько шагов опережает своих конкурентов. За долгие годы наработано множество оригинальных технических решений, запатентованных и активно применяемых Edwards при создании оборудования для снижения давления в камере.
Достоинства и недостатки насосов Edwards
Достоинства
- Большое количество средств выделяется компанией на разработку методов снижения потребляемой мощности и уменьшения частоты технического обслуживания, что позволяет клиентам снизить затраты на содержание вакуумного оборудования.
- Конструкция приборов подразумевает:
- низкий уровень шума и вибрации даже при откачке воздуха на максимальных оборотах;
- быструю скорость откачки;
- минимальное значение достигаемого предельного давления;
- медленный износ наиболее уязвимых деталей.
- Запатентованный компанией сильфонный ввод позволяет беречь экологию, не допуская попадания опасных радиоактивных и химически-агрессивных составов в атмосферу, и совершать перекачку особо ценных газов с возможностью их последующего использования.
За многолетнюю историю Edwards вакуумные насосы этой компании доказали, что являются действительно качественными приборами, отличающимися эффективностью работы и долговечностью службы. Широкая линейка продукции с разными показателями и особенностями позволяет найти подходящее решение для каждого клиента, основываясь на его потребностях. Экспертами компании проводится аудит вакуумных систем для оптимизации их функционирования, поэтому найти недостатки в деятельности компании и ее продукции довольно сложно.
Насосы турбомолекулярные и диффузионные Edwards – сравнение
Наибольшей популярностью пользуются два типа вакуумных аппаратов: создающий вакуум за счет придания молекулам увеличенной скорости в направлении откачки – турбомолекулярный, и использующий диффузию откачиваемого газа в струю пара – диффузионный.
Насосы турбомолекулярные и диффузионные Edwards – сравнение
Сравнивая эти приборы, стоит учитывать сферу применения, условия, создаваемые в камере, и вид газа, который подвергается откачке.
Диапазон рабочего давления и скорость откачки у турбомолекулярного прибора будет немного шире, чем у диффузионного. Первый способен создавать разрежение воздуха от среднего до сверхвысокого (от -1 до -11 мм рт. ст.), тогда как паровые агрегаты лучше функционируют при создании высокого либо в первых значениях сверхвысокого давления (от -3 до -9 мм рт. ст.). Однако турбинный насос способен работать только с газами, молекулярная масса которых более 44 а.е.м.
Немалое значение имеет размер прибора. Более компактный диффузионный подходит в том случае, когда нет возможности выделить большое пространство под вакуумную систему, включающую турбомолекулярный аппарат.
Основные сферы, в которых применяются диффузионные насосы Edwards:
- масс-спектрометрия;
- исследование поверхностей;
- нанесение тонких покрытий;
- поиск протечек;
- вакуумная изоляция;
- малые вакуумные печи;
- научные исследования.
Турбомолекулярные насосы Edwards применяются в следующих отраслях:
- полупроводниковая промышленность;
- ускорители;
- напыление пленок;
- микроэлектроника;
- сверхточные научно-исследовательские приборы;
- плазменное травление;
- ионная имплантация.
Для использования в некоторых сферах, например, пищевой, требуется именно безмасляная откачка газов, поэтому в таких видах промышленности предпочтение отдается сухим турбомолекулярным агрегатам. Однако если брать в расчет диффузионные насосы Edwards, оборудованные охлаждающей ловушкой, то они также обеспечивают исключительно чистую откачку.
Немаловажным аргументом при выборе между диффузионным и турбомолекулярным насосом является цена: стоимость более технологичного и универсального турбомолекулярного аппарата будет на порядок выше, чем упрощенного по сравнению с ним диффузионного.
