| Производитель | ERSTEVAK Ltd. |
| Максимальная температура, °С | 1350 |
| Масса садки, кг | 75 |
| Мощность нагрева, кВт | 48 |
| Однородность температуры, °C | ±5 |
| Размеры рабочей камеры, мм | 300х300х400 |
| Серия | VOQ |
| Предельный вакуум, мбар | 5х10-3 |
| Время перемещения садки, мин | 0.2 |
| Давление охлаждающего газа, бар | 2 |
| Емкость бака, л | 800 |
| Количество рабочих камер | 2 |
| Рабочий газ | N2/Ar |
| Статус | Под заказ |
