| Производитель | Ebara |
| Страна | Япония |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Напряжение, В | 230 |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1x10^(-8) |
| Охлаждение | Воздушное Водяное |
| Вес, кг | 6 |
| Вход и выход | 100 ISO-K, 100 CF / 25 KF |
| Категория | Вакуумный насос |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^8 |
| Коэффициент сжатия водорода | 2x10^3 |
| Модель | EBT350F |
| Назначение | Промышленный |
| Серия | EBT |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 350 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 210 |