| Производитель | Ebara |
| Страна | Япония |
| Тип | Винтовой |
| Напряжение, В | 200-220;380-440 |
| Предельное остаточное давление, мбар | 1,3x10^(-3) |
| Вес, кг | 400 |
| Вход и выход | 50 KF |
| Габаритные размеры, мм | 985x400x840 |
| Категория | Вакуумный насос |
| Модель | ESA100W-D |
| Мощность электродвигателя, кВт | 7,4 |
| Назначение | Промышленный |
| Подсерия | H2 rich applications |
| Расход охлаждающей воды, л/ ч | 210-480 |
| Серия | ESA |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 166,6 |